我将自主研制纳米级“光学卡尺”

国家重点研发计划重大科学仪器设备开发项目“超光滑表面无损检测仪”研制工作，10月9日在成都启动。未来其将广泛用于微电子集成电路、太阳能电池基片，及大型高功率固体激光系统、空间光学系统等设备检验检测。 在集成电路、半导体等微电子芯片的基片制造，及激光器、空间望远镜等现代大型光学工程领域，超光滑表面无损检测设备就像一把“光学卡尺”，能够通过对弯曲度、表面质量等关键参数测量，极大提升我国上述领域的制造