中微半导体设备有限公司获专利侵权诉讼的胜利

微半导体设备有限公司（中微）宣布它们已经在由美国泛林科技有限公司（泛林）在台湾发起的针对其台湾分公司及其关联企业的专利侵权的法律诉讼中获得了胜利。在日前刚刚宣布的判决中，台湾智慧财产法院驳回了泛林的诉讼，并认定泛林主张遭到侵害的专利是无效的。 2009年1月，泛林公司明确声称中微公司型号为Primo D-RIE的等离子蚀刻机侵害它的台湾专利 TW136706“电浆反应器中之多孔的电浆密封环”，和