治“芯”病还需极紫外光刻机助力

芯片制造中，最重要的设备就是光刻机，全球最大的光刻机供应厂商荷兰阿斯麦公司（ Advanced Semiconductor Material Lithography，下称阿斯麦公司）所交付的新一代极紫外光刻机引起了广泛关注。 在极紫外光刻浪潮来临之际，笔者检索了极紫外光刻机在中国专利文摘数据库（CNABS）中截至1月30日公开的全部专利文献发现，已公开的极紫外光刻机专利文献有1218件：从