【十大案件】｜评析“化学气相沉积装置”实用新型专利权无效宣告请求案

的答案：第一，了解起因——技术问题从何而来？第二，了解起因与结果间的桥梁——技术改进手段是什么？第三，把握结果——技术效果因何而就？下面，笔者就以上述案件为例，对如何把握发明构思进行阐述。 该案涉及的是一种用于制造半导体芯片的气相沉积装置，该装置中包括旋转的主轴和随之转动的托盘。在工作时，芯片放置在托盘上，并由托盘带动其进行转动，同时通过气相沉积工艺在芯片表面沉积外延层。半导体芯片的高度精密性对于托盘转动的